電子元器件生產(chǎn)和清洗用水需要使用實(shí)驗(yàn)室超純水機(jī)來(lái)制備
,電子級(jí)超純水中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)(GB/T11446.1-1997)細(xì)則如下:1、范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子級(jí)水的級(jí)別
、要求、試驗(yàn)方法和檢驗(yàn)規(guī)則。本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子元器件生產(chǎn)和清洗用水
。2
、引用標(biāo)準(zhǔn)下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文,通過(guò)在本標(biāo)準(zhǔn)中引用麗構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文
GB/T 11446.3——1997 電子級(jí)水測(cè)試方法通則
GB/T 11446.4——l997 電子級(jí)水電阻率的測(cè)試方法
GB/T 11446.5——1997 電子級(jí)水中痕量金屬的原子吸收分光光度測(cè)試方法
GB/T 11446.6——1997 電子級(jí)水中二氧化硅的分光光度測(cè)試方法
GB/T 11446.7——1997 電子級(jí)水中痕量氯離子、硝酸根離子
GB/T 11446.8——1997 電子級(jí)水中總有機(jī)碳的測(cè)試方法
GB/T 11446.9——1997 電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法
GB/T 11446.10——1997 電子級(jí)水細(xì)菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測(cè)試方法
3、定義
本標(biāo)準(zhǔn)采用下列定義
3.1 電子級(jí)水electronic grade water
制造電子元器件工藝過(guò)程中所用的高純水
3.2 電阻率resistivity
在規(guī)定溫度下,1 cm2水溶液兩相對(duì)面之間測(cè)得的電阻值。通常用符號(hào)P表示
3.3 全硅total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態(tài)存在的硅的總量。
3.4 可溶性硅soluble silicon
以單一分子狀態(tài)存在于水中的溶解性硅酸鹽
。3.5 微粒性物質(zhì)granular matter
除氣體以外
,以非液態(tài)分散在水中,并形成非均相混合物的物質(zhì)。3.6 總有機(jī)碳(TOC) total organic carbon
水中以各種有機(jī)物形式存在的碳的總量
。包括易被一般強(qiáng)氧化劑氧化的有機(jī)物和需用特殊方法氧化的有機(jī)物。3.7 吸附absorption
某些多孔性粒狀物質(zhì)由于表面活性作用而具有吸著某些物質(zhì)的能力
。3.8 凝聚coagulation
在源水中加入某種電解質(zhì)后
,水中帶有電荷的膠體微粒被電解質(zhì)中的異種電荷中和,從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現(xiàn)象。3.9 絮凝flocculation
水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結(jié)為絮狀沉淀的現(xiàn)象
。絮凝一般是在凝聚作用后緩慢進(jìn)行,可除去水中更細(xì)的微粒。3.10 砂濾器sand filter
用于盛放不同直徑的砂粒
,以除去源水中懸浮固體和混濁物的裝置。3.11 活性碳過(guò)濾器activated carbon filter
裝有粒狀活性碳的過(guò)濾器
,用于除去水中的可溶性有機(jī)物和過(guò)量的殘余氯。3.12 離子交換ion exchange
一種不溶性物質(zhì)與一種液體之間相互交換離子的可逆過(guò)程,該過(guò)程中物質(zhì)并無(wú)實(shí)質(zhì)性結(jié)構(gòu)變化
。3.13 去離子水deionized water
經(jīng)過(guò)離子交換處理
,除去了呈離子形式的雜質(zhì)的高純水。3. 14 再生regeneration
離子交換過(guò)程操作循環(huán)中的一部分
。在該部分中,用一定量的化學(xué)試劑通過(guò)離子交換樹(shù)脂使其恢復(fù)交換能力。3.15 復(fù)合床complex bed
將陽(yáng)離子交換樹(shù)脂和陰離子交換樹(shù)脂分別裝入兩個(gè)離子交換柱中
,將兩柱串聯(lián),使水依次通過(guò)兩個(gè)柱而被純化,復(fù)合床處理水的純度雖不及混合床,但操作較簡(jiǎn)單。3.16 混合床mixed bed
將陽(yáng)離子交換樹(shù)脂和陰離子交換樹(shù)脂混合均勻,填充于同一離子交換柱中
,其純化效果相當(dāng)于許多組合床串聯(lián)使用,出水質(zhì)量好但再生比較麻煩。3.17 電滲析electrodialysia
一種分離水中離子的方法
。在電滲析器中,陰陽(yáng)兩極之間用交替排列的陰、陽(yáng)離子交換膜分隔成一系列小室3.18 反滲透reverse osmosis
亦稱逆向滲透
。一種利用滲透原理進(jìn)行分離的方法。用半透膜將濃水和淡水隔開(kāi),并在濃水上施加比滲透壓更強(qiáng)的機(jī)械壓力,則濃水中大部分水透過(guò)半透膜而雜質(zhì)仍留在其中,達(dá)到分離提純的目的。3.19 反滲透膜reverse osmosis membrane
用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜
,其孔徑一般為0. 02 μm或更小,可用于除去無(wú)機(jī)離子、有機(jī)物、細(xì)菌等,使水純化。3.20 微孔膜濾器membrane filter
一種平均孔徑(直徑)大于0. Olμm的薄膜
,能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。3.21 超過(guò)濾uhrafihration
一種過(guò)濾方法
,在一定壓力下使水流通過(guò)超濾膜以除去水中的極細(xì)微粒、膠體和細(xì)菌等。3.22 終端terminal
高純水生產(chǎn)流程中經(jīng)過(guò)各道凈化工藝后
,水的出口或使用地點(diǎn)。4、分類
4.1 電子級(jí)水分為四個(gè)級(jí)別:I級(jí)
、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)和Ⅳ級(jí)。4.2 標(biāo)記
I級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為:EW-I
;I級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為:EW-Ⅱ
;I級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為:EW-Ⅲ;
Ⅳ級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為:EW-Ⅳ
。5
電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1的規(guī)定。
電子級(jí)水技術(shù)指標(biāo)表
6
6.1 電阻率
電子級(jí)水的電阻率按GB/T11446.4--1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定
6.2 全硅含量(以二氧化硅計(jì))
電子級(jí)水全硅(以二氧化硅計(jì))含量按GB/T11446.6--1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定。
6.3 微粒數(shù)
電子級(jí)水中微粒數(shù)按GB/T11446.9--1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定
6.4 細(xì)菌總數(shù)
電子級(jí)水中細(xì)菌總數(shù)按GB/T11446.10--1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定
6.5 痕量金屬含量
電子級(jí)水中痕量金屬的含量按GB/T11446. 5--1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定
6.6 氯離子,硝酸根離子
電子級(jí)水中氯離子、硫酸根離子
6.7 總有機(jī)碳含量
電子級(jí)水中總機(jī)碳含量按GB/T11446.8--1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定
7
7.1 檢驗(yàn)部門(mén)
電子級(jí)水的檢驗(yàn)均應(yīng)在制造廠的水質(zhì)檢驗(yàn)部門(mén)進(jìn)行。
7.2 檢驗(yàn)分類
電子級(jí)水的檢驗(yàn)分為交收檢驗(yàn)和例行檢驗(yàn)
7.3 交收檢驗(yàn)(抽驗(yàn)項(xiàng)目)
7.3.1 電子級(jí)水技術(shù)指標(biāo)中電阻率
7.3.2 在用水終端采樣試驗(yàn)后檢驗(yàn)結(jié)果如有一項(xiàng)不合格時(shí)
7.4 例行檢驗(yàn)(全檢項(xiàng)目)
例行檢驗(yàn)每年進(jìn)行一次,當(dāng)制水條件發(fā)生變更時(shí)也應(yīng)進(jìn)行例行檢驗(yàn)
7.4.1 檢驗(yàn)項(xiàng)目為表1規(guī)定的全部技術(shù)指標(biāo)要求
。7.4.2 在用水終端采樣后進(jìn)行例行檢驗(yàn),檢驗(yàn)結(jié)果如有一項(xiàng)以上不合格時(shí)
,應(yīng)再次采樣進(jìn)行檢驗(yàn),如仍有一項(xiàng)以上指標(biāo)不合格,應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格。8
、采樣、貯存8.1 電子級(jí)水的采樣
8.2 標(biāo)志:在用水終端采樣進(jìn)行檢驗(yàn)時(shí)
以上就是電子級(jí)超純水中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)(GBT11446.1-1997)的詳細(xì)內(nèi)容
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